Це різновид дистиляції в середовищі високого вакууму, для різниці вільного шляху молекулярного руху матеріалу, який проводився в процесі дистиляції та очищення матеріалу, чутливого до температури, або висококиплячого матеріалу. Дистиляція короткого шляху в основному використовується в хімічній, фармацевтичній, нафтохімічна, спеції, пластмаси, нафта та інші поля.